产品概述
本氢气发生器采用业内领先的 PEM 纯水电解技术，特色的纯化模块确保高等级的氢气纯度。设备集成 PLC 智能控制系统，一键启停，操作便捷，结构紧凑，占地面积小，可以与其他设备堆叠放置。适用于多点式分布用氢场景，完全替代高压氢气瓶，保障用氢安全性及用氢灵活性。
产品特点
• 免维护设计，无需更换干燥剂
• PEM技术领先业内，纯水制氢，无需用碱，无腐蚀无污染
• 氢气纯度高，≥99 . 9999%，流量稳定
• 多重氢气纯化 - 高精密物理过滤、冷冻干燥、膜分离提纯、PSA变压吸附除杂、低负载低温钯合金纯化
• 安全系数高，设有缺水报警、氢气泄露报警、超温检测、超压泄压、被动阻火、自动补水
• 即开即用，可靠性高，寿命长
针对半导体行业对氢气纯度、压力及稳定性的超高要求，特推出升级版超高纯氢气发生器（I C版，纯度≥99 . 9999999%），确保极致的氢气纯度和输出稳定性，适用于外延生长、化学气相沉积及EUV光刻等半导体工艺。
