产品概述
本氢气发生器一 款为大流量、高纯度需求场景设计的高效、安全制氢设备。用于半导体、人工钻石、制药合成等行业。采用领先业内的PEM技术电解纯水制氢， 自研的纯化模块确保高等级的氢气纯度 ，完全免维护。
产品特点
• 免维护设计，无需更换干燥剂
• PEM技术领先业内，纯水制氢，无需用碱，无腐蚀无污染
• 多重氢气纯化 - 高精密物理过滤、冷冻干燥、膜分离提纯、PSA变压吸附除杂、低负载低温钯合金纯化
• 氢气纯度高，≥99.9999%，流量稳定
• 安全系数高， 设有缺水报警、超温检测、超压泄压、被动阻火、自动补水、水质检测、漏液检测、远程监控、断电保护、氢气泄露检测、故障自动停机
• 即开即用，可靠性高，寿命长
针对半导体行业对氢气纯度、压力及稳定性的超高要求，特推出升级版超高纯氢气发生器（I C版，纯度≥99 . 9999999%），确保极致的氢气纯度和输出稳定性，适用于外延生长、化学气相沉积及EU V光刻等半导体工艺。
