产品概述
本氢气发生器是一款为大流量、高纯需求场景设计的高效、安全制氢设备。用于半导体、人造钻石、燃料
电池测试、化工与石化、金属加工与热处理、 生物技术、环境检测。
完全摆脱对高风险的高压氢气钢瓶的依赖。自掌控用气成本和氢气产量，按需生产，即产即用。产品采用模块化设计，布局紧凑。 一键启动，全方位监控压力、液位、水温等参数，实行数字化管理。
产品特点
• 免维护设计，无需更换干燥剂
• 模块化设计，布局紧凑
• PEM技术领先业内，纯水制氢，无需用碱，无腐蚀无污染
• 多重氢气纯化 - 高精密物理过滤、冷冻干燥、膜分离提纯、PSA变压吸附除杂、低负载低温钯合金纯化
• 即开即用，可靠性高，寿命长。能满足24h连续运转要求
• 自动检查并持续控制运行参数，以保安全。LED触控屏界面，操作简单方便
• 安全系数高，设有缺水报警、超温检测、超压泄压、被动阻火、自动补水、水质检测、漏液检测， 远程监控、断电保护（UPS备用电源）、氢气泄漏检测、故障自动停机
针对半导体行业对氢气纯度、压力及稳定性的超高要求，特推出升级版超高纯氢气发生器（I C版，纯度≥99 . 9999999%），确保极致的氢气纯度和输出稳定性，适用于外延生长、化学气相沉积及E UV光刻等半导体工艺。
